heidenhain海德漢光柵尺LIP481V/LIP481U

直線光柵尺在真空技術中的應用

真空是一個無任何物質(zhì)的空間，例如在真空中沒有空氣也沒有任何其它氣體。 根據(jù)真空的純度，通常將真空分為低真空、中等真空、高真空或超高真空。 真空技術在許多現(xiàn)代化生產(chǎn)過程和科研工作中發(fā)揮著重要作用。因此，真空技術是電子、薄膜技術、新材料開發(fā)、生物技術以及醫(yī)藥和 分析技術*的技術。 真空應用對零部件有嚴格的要求，當然也影響到定位應用的編碼器。海德漢針對高真空和超高真空應用特別設計的直線光柵尺能滿足 這些要求，真空版的特殊設計包括：

• 滿足真空要求的PCB，黏膠和漆料，減少氣體析出 • 通氣的空腔，縮短抽真空時間 • 耐高溫，支持較高的加熱溫度 • 無磁鐵材料，提高過程可靠性 • 超凈車間生產(chǎn)，確保高清潔度

真空等級

在密閉的空間中，空氣被抽出成為無空氣 的空間。氣室內(nèi)的空氣減少，氣壓下降， 產(chǎn)生真空。封閉空間中的空氣量越少，氣 壓越低，真空度越高。真空度分為四級。 高于1 mbar的氣壓為低真空度。低于該氣 壓時，為中等真空度。低于0.001 mbar為 高真空度，達到或低于0.000 000•1•mbar 為超高真空度。

真空應用

真空需要一個密閉的空間不存在任何空氣， 因此也不存在任何懸浮顆粒，不允許任 何“異物”存在。有時需要在真空中測量 尺寸，例如需要檢查亞微米級的超精細結(jié) 構或需要切分和檢查顆粒。直線光柵尺和 角度編碼器在真空中的常見應用包括電子 顯微鏡、機械手、多路執(zhí)行器、XY工作 臺、電子束顯微鏡，半導體工業(yè)的圓晶檢 查或測量同步加速器輻射的光譜儀軸。

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